多弧硬质涂层系统 BSHC 1010
BSHC 1010 多弧硬质涂层系统是一款面向切削工具与模具的先进 PVD 镀膜设备，可稳定沉积 AlTiN、AlCrN、AlTiSiN 等硬质涂层，显著提升耐磨、耐热性能并延长工具寿命。
高效精准的离子束刻蚀去涂层
该系统通过高能离子束对表面涂层进行精确刻蚀，可在保证基材完整性的同时，快速去除旧涂层或残留膜层：
- 可调离子能量，灵活适配不同材料与结构
- 高刻蚀速率，实现快速高效的去涂层工艺
- 精准材料去除，减少对基材的热与机械影响
- 适用于复杂几何形状与高精度模具
核心特点
多弧涂层技术
适合高性能 AlTiN、AlCrN、AlTiSiN 等硬质涂层沉积。
离子束清洗源
有效提升涂层与基材之间的附着力。
高真空系统设计
确保膜层致密性与工艺稳定性。
技术规格
| 配置项 | 说明 |
|---|---|
| 工艺腔体结构 | 多源工艺腔体，八边形结构，内切圆直径 Ø1.0 m × 1.05 m（H） |
| 腔体材料 | SUS304 不锈钢 |
| FCVA 碳源 | 不适用（N.A） |
| 其他沉积 / 处理源 | 多弧源（Multi-Arc Source）+ 离子束清洗源（Ion Beam Cleaning Source） |
| 真空监控 | 2 × 热偶规（TC Gauge）+ 1 × 离子规（Ion Gauge） |
| 高真空泵 | 2 × 3,000 L/s 分子涡轮泵（Turbo Molecular Pump） |
| 压力控制 | 电容式真空计（Capacitance Manometer）+ 多组质量流量控制器（MFC） |
| 机械（前级）真空泵 | 旋片泵 + 罗茨泵（Roots Pump） |
| 极限真空 | < 1.0 × 10−4 Pa |
| 基材载台尺寸 | PCD Ø0.5 m × 0.8 m（H） |
| 基材载台材料 | SUS304 不锈钢 |
| 基材载台功能 | 转速 0–3 rpm，可加偏压（Bias-able） |
| 设备外形尺寸 | 约 4.8 (L) × 3.6 (W) × 2.6 (H) m |
应用领域
常见问题 (FAQ)
De-coater NDC 300 主要用于哪些工艺？
主要用于涂层去除、表面刻蚀及镀膜前的表面预处理。
系统是否适用于复杂形状的模具？
是的，离子束刻蚀具备良好的方向性与均匀性，适合复杂几何结构。
去涂层过程是否会损伤基材？
在合理工艺参数下，可实现精准去除涂层，对基材影响极小。
可使用哪些工艺气体？
系统支持氩气（Ar）与氧气（O₂），可根据涂层类型选择。
是否可与现有镀膜设备集成？
可以。该系统可与 FCVA 上下料式模具镀膜设备组合，形成完整的镀膜与去涂层解决方案。