FCVA 混合式批量镀膜系统
FCVA 混合式批量镀膜系统高度推荐用于汽车发动机零部件的 iTAC® 涂层制备。iTAC® 涂层已成功应用并验证于多种关键汽车发动机部件，包括活塞环、活塞销等，可实现低摩擦系数与高耐磨性的卓越性能。该涂层有助于降低发动机燃油消耗、提升整体性能，并延长使用寿命，同时减少维护需求。
核心特点
FCVA 技术
提供致密、附着力强的高性能涂层表现
碳源或金属源配置
扩展涂层类型，满足多样化应用需求
离子束或溅射模块
灵活系统架构，支持不同工艺组合
高真空泵系统
高真空泵系统缩短抽真空等待时间，提高生产效率
旋转式基材载台（可倾角）
实现复杂部件的均匀镀膜
人性化控制面板
操作直观，便于工艺设定与管理
技术规格
| 配置项 | 说明 | |
|---|---|---|
| 腔体尺寸 | Ø1.5 m × 1.37 m（H） | |
| 腔体材料 | SUS304 不锈钢 | |
| FCVA 源 | 多组 FCVA 金属源与碳源 | |
| 其他源 | 可选磁控溅射源 + 离子束清洗源 | |
| 真空监控 | 2 × 热偶规（TC Gauge）+ 1 × 离子规（Ion Gauge） | |
| 高真空泵 | 2 × 3,000 L/s + 1 × 2,400 L/s 分子涡轮泵（Turbo Molecular Pump） | |
| 压力控制 | 电容式真空计 + 高真空规 + 低真空规 + 多组质量流量控制器（MFC） | |
| 机械（前级）真空泵 | 旋片泵 + 罗茨泵 | |
| 极限真空 | < 1.0 × 10−4 Pa | |
| 载台尺寸 | PCD Ø1.156 m × 1.31 m（H） | |
| 载台材料 | SUS304 不锈钢 | |
| 载台功能 | 转速 0–3 rpm，可加偏压（Bias-able） | |
| 设备外形尺寸 | 约 4.7 (L) × 4.3 (W) × 3.0 (H) m |
应用领域
常见问题 (FAQ)
BFSI 1515 主要适用于哪些零部件？
主要用于汽车发动机关键部件，如活塞环、活塞销等高负载、高摩擦零件。
iTAC® 涂层的核心优势是什么？
具备低摩擦系数与高耐磨性，可有效降低能量损耗并延长零部件寿命。
该系统是否适合量产应用？
是的，BFSI 1515 采用批量式设计，适合汽车行业的大规模生产需求。
系统配置是否灵活？
非常灵活，可根据需求选择碳源、金属源、离子束或溅射模块。
是否可与现有发动机制造流程整合？
可以。系统设计充分考虑工业集成需求，便于导入现有生产线。