De-coater NDC 300
De-coater NDC 300 采用可调离子能量,实现高效均匀的去涂层处理,并可与 FCVA 镀膜设备集成,构建一站式模具镀膜与去涂层解决方案。
高效精准的离子束刻蚀去涂层
该系统通过高能离子束对表面涂层进行精确刻蚀,可在保证基材完整性的同时,快速去除旧涂层或残留膜层:
- 可调离子能量,灵活适配不同材料与结构
- 高刻蚀速率,实现快速高效的去涂层工艺
- 精准材料去除,减少对基材的热与机械影响
- 适用于复杂几何形状与高精度模具
核心特点
操作友好
直观控制面板设计,操作简单,便于工艺参数设置与监控。
高度灵活
离子能量可在宽范围内调节,满足不同涂层材料与厚度需求。
高性能离子束刻蚀
具备高刻蚀速率与优异均匀性,实现稳定、可重复的去涂层效果。
技术规格
| 配置项 | 说明 |
|---|---|
| 腔体内部尺寸 | 0.423 × 0.363 × 0.232 m |
| 腔体材料 | SUS304 不锈钢 |
| 反应器类型 | 阳极层离子源(Anode Layer Ion Source) |
| 极限真空 | 1 × 10−5 Torr |
| 刻蚀时间 | 3–10 分钟(视工件形状与尺寸而定) |
| 工艺气体 | Ar 或 O2 |
| 电源规格 | 三相电(208–400V)+ N + E(依当地标准配置) |
| 额定功率 | 15 kW |
| 抽气系统 | 旋片真空泵 + 国际认可品牌分子泵 |
| 离子束电源 | 0–2,000 V(DC + 脉冲) |
| 偏压电源 | 0–1,000 VDC 脉冲,40 kHz,占空比 20–80% |
| 设备外形尺寸 | 约 1.4 (L) × 1.1 (W) × 1.73 (H) m |
应用领域
常见问题 (FAQ)
De-coater NDC 300 主要用于哪些工艺?
主要用于涂层去除、表面刻蚀及镀膜前的表面预处理。
系统是否适用于复杂形状的模具?
是的,离子束刻蚀具备良好的方向性与均匀性,适合复杂几何结构。
去涂层过程是否会损伤基材?
在合理工艺参数下,可实现精准去除涂层,对基材影响极小。
可使用哪些工艺气体?
系统支持氩气(Ar)与氧气(O₂),可根据涂层类型选择。
是否可与现有镀膜设备集成?
可以。该系统可与 FCVA 上下料式模具镀膜设备组合,形成完整的镀膜与去涂层解决方案。